物理学院三束实验室
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  D8-Discover型高分辨X射线衍射仪

最大功率:2.2kw (正常使用状况:40kV,  40mA)

功能简介:薄膜分析;高分辨X射线衍射;掠入射X射线衍射(普通型和in-plan模式);反射率;织构分析

主要附件:Gobel反射镜;Ge022)四晶单色器(角分辨率< ="12'

其余附件:多功能样品台(in-plan模式);反射率附件(带刃型光阑);后平行狭缝

主要性能:theta, 2theta 轴最小步距0.0001,样品台具有(X,Y,Z,Phi,Chi)五个自由度:Chi-11°98°  Δ0.01°;Phi-180°to  +180°   Δ0.01°;X轴:80mm  Δ0.01mm;Y轴:80mm;  Δ0.01mm; Z轴:2mm   Δ0.01mm

主要功能:高分辨X射线衍射分析

(1)可选择双晶摇摆曲线测量、三轴晶衍射测量(即倒易空间等强度分布图测量)等测量方式;(2)分析范围:外延薄膜的厚度,晶格参数、失配、应力,化学配比,缺陷、晶粒尺寸、侧向结构

掠入射X射线衍射测量

(1)测量特点:仪器的X-射线束是近标准的平行光束,可采用面内和面外两种方式

(2)适合做薄膜的相结构,晶格参数、失配、应力,侧向结构和膜层的取向

反射率测量

(1)可测1000纳米以下薄膜的厚度、密度以及5纳米以下界面粗糙度等信息,

(2)测量范围:非晶,单晶,多晶

织构测量:主要用于测量基体和膜层取向

 

联系人:初老师   84708380-8303

 

 

 

 

 

 

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联系人:夏老师   84708380-8303

 

 

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