MMLAB-prob系列朗缪尔探针

 

该项目研制的MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统包括单探针、双探针、三探针及谐波探针等多种型号，已获得3项中国发明专利授权，具有抗干扰性强，工作可靠等特点，能够用于直流辉光、脉冲、射频、微波等各种放电形式的等离子体诊断，在磁控溅射、电弧离子镀、绝缘薄膜沉积及无参考电极等各种放电环境下稳定工作。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统已在国内外二十余家实验室和企业的等离子体设备上获得了应用。

应用领域

等离子体在能源、材料、电子、医疗、环保以及日常用品等方面的工业生产中都有广泛的应用。在生产过程中，等离子体的状态参数直接影响着最终产品的质量、批处理的均匀性和不同批次间的稳定性，因此对工艺过程中等离子体的诊断与监控至关重要。探针是实现等离子体诊断的最为便利和经济的手段。目前商用等离子体探针诊断系统只有英国的Hiden和爱尔兰的Impedans等少数国际品牌，还没有国产商品化的等离子体探针诊断仪器。而且，目前商用等离子体探针诊断仪器主要面向等离子体研究，极少用于工业等离子体的诊断与监控。

该项目长期在等离子体探针诊断技术方面进行了深入研发，涉及科研和技术开发项目二十余项，获得发明专利三项（一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法,ZL200610134481.0；等离子体诊断用多功能探针,ZL200910306774.6；一种射频放电等离子体诊断装置,ZL201110003263.4）。目前我们的诊断技术能够实现国外商用探针诊断系统的所有功能。与国外商用探针诊断系统的单一技术相比，我们已经形成了单探针、双探针、三探针、发射探针和谐波探针等完整的系列，攻克了多射频放电、微秒级瞬时脉冲放电等多个技术难关，应用范围覆盖了磁控放电等离子体、电弧离子镀等离子体、微波等离子体、射频/双频容性/感应耦合等离子体、中频脉冲放电等离子体、火花放电瞬态等离子体、绝缘薄膜制备环境等离子体等各种形式的低气压低温等离子体的诊断。特别在多射频放电等离子体诊断方面具有国内外领先的技术优势。

项目核心成员

陆文琪，男，1969年生，汉族，大连理工大学副教授，1991年毕业于河北师范大学物理系获理学学士学位，1996年毕业于大连理工大学获理学硕士学位并留校工作。2001年公派赴日本东京工业大学留学，2005毕业获博士学位后回大连理工大学工作。研究领域：（1）等离子体物理与诊断；（2）薄膜材料的组合学优化研究；（3）等离子体氮化技术研究。

MMLAB-prob1型朗缪尔探针软件操作界面



双射频容性耦合等离子体刻蚀机